Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Die Analytik ist ein elementarer Bestandteil zur Überprüfung von mikroelektronischen Systemen. Sie wird zur Qualitätskontrolle, Fehleranalyse, Materialcharakterisierung, Prozessoptimierung und Zuverlässigkeitsbewertung eingesetzt. Für eine zerstörungsfreien Analytik ohne vorherige Probenpräparation werden Licht-, Röntgen- und Niedervakuumrasterelektronenmikroskope genutzt. Für dreidimensionale Volumenuntersuchungen kommt die Micro-Röntgen-Computertomographie (Micro-XCT) zum Einsatz. Eine hochauflösende Analyse ist durch die Anfertigung von Querschliffen möglich, die mit Hilfe von Licht- und Rasterelektronenmikroskopen (im Hochvakuum) begutachtet werden. Für eine Zielpräparation im Mikrometerbereich kann zudem die Ionenfeinstrahltechnik (focused ion beam = FIB) eingesetzt werden. Zur Bestimmung der in der Probe enthaltenen Elemente wird die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) genutzt.
