Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZMTroop
Entwicklung eines hochtransparenten, UV-A/VIS belichtbaren (λ=350-450 nm) und UV-strukturierbaren Trockenfilmresistsystems mit verschiedenen Schichtdicken zur Herstellung optischer Komponenten
Im Troop-Projekt wird ein hochtransparenter, UV-langwellig empfindlicher (λ>365 nm und λ>405 nm) und strukturierbarer Trockenfilmresist für die Herstellung von optischen und opto-fluidischen Komponenten entwickelt. Dieser soll mit modernen, energiesparenden Belichtungsmethoden wie LED-Belichtung und einem Dioden basierten Laserdirektschreiber lithographisch strukturierbar sein. Solch ein Material ist bisher kommerziell am Markt nicht verfügbar. Der Vorteil für die Anwender bei der Nutzung von Trockenfilmresisten gegenüber Flüssigresistsystemen liegt eindeutig in der komplikationslosen und zeitsparenden Schichtherstellung durch das Laminieren in einem breiten Schichtdickenbereich. Mit dem Wegfall des zeitaufwendigen Trocknungsprozesses zur Entfernung des Lösemittels in Flüssigresisten werden Prozesse zeitlich enorm beschleunigt und damit kostensparender. Ebenso wird das Überbrücken oder Versiegeln vorhandener Hohlräume und Kanäle viel einfacher ermöglicht. Damit eröffnen sich in der Mikrofluidik weitere vielfältige Anwendungsfelder.
Die hochtransparenten, optischen Eigenschaften der vernetzten Trockenfilmresiststrukturen bilden die Basis für eine innovative, direkte Herstellung von mikro-optischen Komponenten zur Anwendung in der Sensorik und zum Ein- oder Auskoppeln von Licht.
