Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZMWellenleiterkoppler - Nanosystec
Abbildung 1: automatisier-te Anlage zur optischen Messung integrierter Pho-tonik und zur Fasermontage
Abbildung 2: 2D-Scan des MFD (mode field diameter) einer Glasfaser
Die hohe Nachfrage nach Miniaturisierung von optischen Systemen in verschiedenen Anwendungen, inklusive der Quantentechnologie, treibt die Entwicklung der integrierten Photonik mit einer steigenden Anzahl von Wellenleitern pro Chip oder Panel voran. Automatisierte Anlagen zum Messen und Verbinden von optischen Fasern mit Chips bis hin zu Panels sind unerlässlich. Am Fraunhofer IZM verfügen wir über eine EFRE-geförderte Anlage mit den folgenden Eigenschaften:
- Automatisierte Messroutinen für die optische Charakterisierung (IL und MFD) einer hohen Anzahl von Wellenleitern
- Kanten- und vertikale Kopplung mit einer Achsauflösung von 50 nm
- Softwaregesteuertes, präzises Setzen von Klebstofftropfen und deren Aushärtung mit einer UV-Lichtquelle
- Erkennung von Marken mit einer integrierten Kamera und automatische Lichtkopplung in die Wellenleiter mithilfe von Such- und Optimierungsalgorithmen
- Substrate:
- Panels: bis zu 457 mm x 305 mm; mit SM- und MM-LWL für 1310 nm und 1550 nm
- Chips: mit SM- und MM-Wellenleiter (Polymer, Si und SiN)
- Einzelfasern und Faserarray:
- Standard- (SM/MM) und polarisationserhaltende Fasern
- Gelinste und UHNA-Faser