Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZMComelec 30H, Parylen-ALD-Hybridreaktor
Funktionen
- Parylen-C-Abscheidung (anderen Alternativen möglich)
- Atomlagenabscheidung von Al2O3 und TiO2
- Kombinierte Parylen- und Atomlagenabscheidung
- Plasmabehandlung
- Silan-Haftvermittler
Ausstattung