Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZMCreamet 500 S3, Sputter System
Funktionen
- Gleichstrompuls-Magnetfeldröhren-Sputtern
- 3 Ziele: Au, Pt und Ti
- Substratformate: 150 mm x 150 mm quadratisch oder 200mm Waferformat
- Substratoberflächenbehandlung über Glimmentladung
Ausstattung