Ausstattung

Neben Polymeren für Umlenkelemente und Linsen findet auch Glas in der Mikrosystemtechnik aufgrund der hervorragenden Transparenz, hoher Temperaturstabilität und sehr guten optischen Eigenschaften im sichtbaren Spektralbereich immer größere Verwendung in der Mikrooptik.
Die gängigen Verfahren wie Prägen, Gießen und Fräsen besitzen ebenso wie Lithographieprozesse insbesondere in den Randgebieten Abweichungen von der Normgeometrie. Die Eigenschaften von Einzellinsen, Linsenreihen und Linsenarrays im Produktionsumfeld diskret auszumessen ist zeitaufwendig. Eine stichprobenartige Prüfung ist deswegen üblich. Starke Schwankungen der Linsengeometrien bleiben aber unbeachtet, der Ausschuss ist entsprechend hoch.

Mit dem dem SHSInspect autoLab können Linsenarrays vollautomatisiert ausgemessen werden. Die zu messenden Mikrooptiken können folgende Parameter besitzen 50µm – 250 µm Apertur, von 350 nm - 900 nm transparente und spiegelnde Materialien.

Mit dem System können unter anderem folgende Parameter ermittelt werden: ROC, EFL, Sphärizität, Konizität, Apertur, Position sowie Verkippung der Linse auf dem Wafer sowie die Oberflächenstruktur über eine Profilometriefunktion.

Alle Parameter können für eine Qualifizierung in einer Pass/Fail Analyse jeder Einzeloptik sowie für den gesamten Wafer bewertet werden.