In Würdigung ihrer am Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM durchgeführten Arbeiten zur Produktzuverlässigkeit in der Mikro- und Nanotechnologie durch Nanodeformationsanalyse erhalten Prof. Dr. rer. nat. habil. Bernd Michel aus Chemnitz, Dr. rer. nat. Dietmar Vogel aus Berlin und Dr.-Ing. Jürgen Keller aus Berlin den dritten Joseph-von-Fraunhofer-Preis 2005.

Die Miniaturisierung von Bauteilen, speziell im Bereich Sensorik, Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik, stellt die Konstrukteure vor neue Probleme. Die Zuverlässigkeit solcher Systeme hängt davon ab, dass die mechanisch-thermischen Vorgänge in diesen Größenbereichen verstanden und beschrieben werden können. Konventionelle Messverfahren haben hier jedoch ihre Grenzen erreicht.

Dr. Dietmar Vogel, Dr.-Ing. Jürgen Keller und Prof. Dr. Bernd Michel vom Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM haben mit einem neuen methodischen Ansatz diese Einschränkungen überwunden. Mit dem nanoDAC/fibDAC-Verfahren können Eigenspannung, Materialverformung und -schädigung erfasst werden, die für bisherige Analysen unzugänglich bleiben. Das patentierte Verfahren wird bereits in zahlreichen Unternehmen und Forschungseinrichtungen eingesetzt.