Mit 200 Gästen aus Wirtschaft, Politik und Wissenschaft beginnt nun auch offiziell die Arbeit der vier im Freistaat Sachsen beteiligten Fraunhofer-Institute an der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland. Dazu enthüllten Ministerpräsident Stanislaw Tillich, Wissenschaftsministerin Dr. Eva-Maria Stange und der Parlamentarische Staatssekretär bei der Bundesministerin für Bildung und Forschung Stefan Müller zusammen mit Prof. Georg Rosenfeld, Vorstandsmitglied der Fraunhofer-Gesellschaft, und dem Vorsitzenden des Lenkungskreises der Forschungsfabrik Mikroelektronik Prof. Hubert Lakner eine Stele vor dem Institutsgebäude am Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme.

»Mikroelektronik hat Systemrelevanz«, führte Prof. Rosenfeld aus. »Etablierte wie neue Branchen brauchen sie, um die digitale Zukunft zu meistern. Mit der Forschungsfabrik Mikroelektronik schaffen wir die erforderliche Forschungsausstattung und machen das neue Know-how für die Industrie verfügbar. Damit trägt sie wesentlich zur technologischen Souveränität Deutschlands und Europas bei.«

Stefan Müller hob hervor, dass Deutschland mit der Forschungsfabrik Mikroelektronik in der Lage sein wird, mehr denn je wieder eigene Entwicklungen in der Mikroelektronik voranzubringen. »Unser Zukunftsprogramm erlaubt es den Instituten, in modernste, leistungsfähigste Anlagen, Labor- und Geräteausstattung zu investieren und so international herausragende Forschungsdienstleistungen anzubieten. In der Forschungsfabrik bündeln wir die landesweit vorhandene Forschung zu einem exzellenten Know-how-Pool. Damit wollen wir Innovationen im Bereich der Mikroelektronik nicht nur hervorbringen sondern entlang der kompletten Innovationskette aus einer Hand verfügbar machen. So stärken wir eine wichtige Schlüsselindustrie, auch mit Blick auf Technologiesouveränität, Arbeitsplätze und Attraktivität des Standortes Deutschland.«

Ministerpräsident Tillich betonte die Bedeutung Sachsens als führender Mikroelektronik-Standort in Deutschland und Europa. In seinem Grußwort sagte er: »Mit der Forschungsfabrik erhält unser Mikroelektronik-Cluster einen weiteren Schub. Mit einer ausgezeichneten Forschungslandschaft, gut ausgebildeten Fachkräften und der engen Verzahnung von Wirtschaft und Wissenschaft bieten sich am Standort Sachsen beste Voraussetzungen, um mit der Schlüsseltechnologie Mikroelektronik die Industrie 4.0, effiziente Technik für die Energiewende oder auch die intelligente Mobilität maßgeblich mitzugestalten. Wir unterstützen daher die Initiative der Bundesregierung, um so auch den Freistaat, Deutschland und Europa im internationalen Wettbewerb weiter zu stärken.«

Wissenschaftsministerin Dr. Eva-Maria Stange erinnerte daran, dass diese Großinvestition auf Strukturen wie etwa dem Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro- und Nanoelektronik“ Dresden/Chemnitz beruht, die vom Freistaat Sachsen geschaffen wurden. »Mit einer langen Vorarbeit hat Sachsen das Entstehen der Forschungsfabrik Mikroelektronik möglich gemacht. Allein am Standort Maria-Reiche-Straße sind rund 128 Millionen Euro Strukturfondsförderung in Bauvorhaben und die Erstausstattung geflossen. Ich bin sehr froh, dass sich unsere gemeinsamen Investitionen in die Grundlagen- und angewandte Forschung jetzt so auszahlen. Die Forschungsfabrik Mikroelektronik ist ein Beleg für einen langen, aber sehr erfolgreichen Weg«, so die Ministerin.

Wie genau diese Verzahnung von Expertise, die heute verteilt in den anwendungsnahen Mikroelektronik-Instituten vorliegt, bei Fraunhofer aussehen könnte, machte Prof. Hubert Lakner am Beispiel der Entwicklung von FD-SOI (Fully Depleted Silicon On Insulator )-Prozessen auf 300 mm Wafern deutlich. »Mit der FMD können wir auch im Leading-Edge-Technologiebereich auf 300 mm Wafern vom Design über Technologiemodule bis zur Waferlevelintegration neueste Technologien entlang der kompletten Wertschöpfungskette anbieten. Damit schaffen wir für unsere Industriepartner ein interessantes Angebot für die Weiterentwicklung solcher High-Performance Prozesse, um insbesondere im Bereich der Internet-of-Things mit kürzeren Innovationszyklen Produkte auf den Markt zu bringen. Für diese neuen Möglichkeiten gilt dem BMBF unser ganz besonderer Dank«.

Dass eine exzellente High-Tech-Forschung in unmittelbarer Nachbarschaft ein klarer Standortvorteil ist, bestätigte Dr. Rutger Wijburg, der als Geschäftsführer der Globalfoundries Dresden die Halbleiter- und Elektronikindustrie bei der Auftaktveranstaltung repräsentierte. »Globalfoundries arbeitet seit vielen Jahren erfolgreich mit der Fraunhofer-Gesellschaft zusammen. Die FMD-Investition ermöglicht weitere gute Gelegenheiten, diese Kooperation zu vertiefen und auszubauen. Dabei steht unsere FD-SOI-Technologie im Mittelpunkt, die sich für äußerst energieeffiziente IoT-Lösungen anbietet. Mit der Unterstützung von Fraunhofer wollen wir von Dresden aus die Potenziale der FD-SOI-Stromspartechnologie auf deutschen und europäischen Märkten realisieren.«

In den vier in Sachsen beteiligten Fraunhofer-Instituten für Photonische Mikrosysteme IPMS, für Integrierte Schaltungen und Systeme IIS mit dem Institutsteil Entwicklung Adaptiver Systeme EAS, für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM mit dem Institutsteil All Silicon System Integration Dresden ASSID sowie für Elektronische Nanosysteme ENAS werden die rund 100 Millionen Euro Fördermittel für eine grundlegende Modernisierung und Erweiterung der vorhandenen Forschungsausstattung genutzt. Wichtigste Investitionsbereiche umfassen Anlagen für die Herstellung von neuartigen Mikrosystemen, Leading Edge CMOS Prozessen auf 300 mm Wafern, die 2.5/3D Waferlevelintegration sowie Geräteausstattung für Schaltungsdesign, Test und Zuverlässigkeitsprüfungen.