Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Im Projekt LOWILO wird ein Sensorknoten mit einem Radar entwickelt, um die Grundlagen für positionsabhängige Sensoren zu untersuchen. Die Sensorknoten werden durch hybrid-integrierte Substratmodule aufgebaut. Es wird ein HF Front-End Modul sowie ein signalverarbeitendes Modul entwickelt. Die einzelnen Module bestehen aus einem Glas- oder Silizium-Substrat, auf das die aktiven Bauelemente in Flip-Chip Technologie montiert werden. Die einzelnen Module werden durch Löt-Bumps mechanisch und elektrisch miteinander verbunden.
Im Rahmen des Projekts wurde eine Antenne für eine Frequenz von 24 GHz entworfen. Die Anregung durch einen Koppelschlitz (Proximity Feed) ermöglicht den Aufbau der Antenne ohne Vias, was die Prozessfolge vereinfacht. Beim Entwurf der Antenne wurden verlustarme Materialien ausgewählt (BF33-Glas / Fa. Schott, BCB / Fa. Dupont) um eine hohe Antenneneffizienz zu erreichen. Die Materialdaten wurden z.T. durch Messungen mit der Split-Resonator-Methode bestimmt.
Um eine Übertragung der HF-Signale zu ermöglichen wurden die Interconnects der AVT charakterisiert. Dazu wurde die erweiterte Filament-Methode genutzt, die im Rahmen einer Dissertation im Institut entwickelt wurde.
