Measuring Machine

• CCD Metrologie Messsystem / 3D Topographie - Messsystem

- Matrix Farb-CCD Kamera / Weißlicht-Interferometrie

• Messbereich: 700x650mm²
• Ges. Systemgenauigkeit:

- X-Y: CCD = +/- 0,003 mm (mind. 150-fache Vergrößerung)

Bei welchen Prozessen und Projekten wird die Anlage verwendet:

• Auto. vermessen von Bohrlochdurchmessern (Vergleich Ist- zu Solldurchmesser)
• Auto. vermessen von X-Y Positionen (Vergleich Ist- zu Sollposition)
• Vermessen von Chippositionen (Erzeugung von Designdaten)
• Vermessen von Leiterbahnen (Breite/Länge)
• Vermessen von Verdrehungen (Winkel)
• Vermessen von Höhenprofilen